光学元件形貌测试系统是Phasics推出的一款多波长动态干涉仪,该产品应用了Phasics的横向四波剪切干涉技术,可以实现动态的波前测量,从而快速得到样品的表面形貌信息;而且该技术的自消色差的特性,让系统可以支持多个工作波长,有效避免传统干涉仪测试波长跟工作波长不同带来的误差问题,特别针对滤光片,可以实现传统干涉仪无法实现的TWE的测试。
镜头MTF测试系统设备采用Phasics的四波剪切干涉传感器,在405nm~940nm多种波长光源可选,而且同时最多可以配置8个波长的光源。
激光损伤阈值测试系统不同激光器类型,损伤的机理并不一致;对于连续激光器,通常是热积累导致的损伤;而对于脉冲激光器,则存在多重的损伤机制,而且不同脉宽的激光器,占主导的损伤机制并不相同。
紫外波前分析仪SID4-UV是Phasics针对半导体应用市场需求推出的一款高性价比的紫外波前分析仪,波长范围覆盖190nm~400nm,靶面尺寸为7.8X7.8mm2,提供300X300的采样率,同时能够提供26um的相位空间分辨率;该产品既能够满足深紫外激光器的高分辨率测量要求,也能够满足半导体的光学器件的品质管控测量和半导体晶圆面型的测量。
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