光学元件形貌测试系统是Phasics推出的一款多波长动态干涉仪，该产品应用了Phasics的横向四波剪切干涉技术,可以实现动态的波前测量，从而快速得到样品的表面形貌信息;而且该技术的自消色差的特性,让系统可以支持多个工作波长,有效避免传统干涉仪测试波长跟工作波长不同带来的误差问题，特别针对滤光片，可以实现传统干涉仪无法实现的TWE的测试。

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更新时间：2025-09-02

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光学元件形貌测试系统

KALEO MULTIWAVE光学元件形貌测试系统是Phasics推出的一款多波长动态干涉仪，该产品应用了Phasics的横向四波剪切干涉技术,可以实现动态的波前测量，从而快速得到样品的表面形貌信息;而且该技术的自消色差的特性,让系统可以支持多个工作波长,有效避免传统干涉仪测试波长跟工作波长不同带来的误差问题，特别针对滤光片，可以实现传统干涉仪无法实现的TWE的测试。

应用领域：滤光片TWE检测

反射镜RWE检测

雷达保护窗口检测

光学元件形貌测试系统

图2、5英寸带通滤光片的RWE

光学元件形貌测试系统

图3、940nm的镜子面型

光学元件形貌测试系统

图4、645nm带通滤光片TWE

斐索干涉仪 Kaleo Multiwave

光学元件形貌测试系统

图5、斐索干涉仪和KaleoMultiwave的测试结果对比

测试结果对比表

		FIZEAU	PHASICS
直径（mm）		124.9	125.4
RWE(nm PTV)		1498.13	1535.38
RWE (nm RMS) without PST/TLT/PWR		35.2
RWE (nm RMS) without ST/TLT/PWR/AST/CMA/SA		9.1
	SAG(fr)	5.13	5.04
	IRR(fr)	0.75	0.61
	RSI (fr)	0.34	0.23
	RMSt (fr)	1.477	1.459
	RMSi (fr)	0.129	0.103
	RMSa (fr)	0.085	0.059

光学元件形貌测试系统技术规格

KALEO Multiwave技术规格
配置	双透射
测试功能	RWE反射表面形貌 TWE透射器件
最多可支持波长	标配2个波长；最多可以8个波长
定制波长	从193nm到14um可选紫外：266nm，355nm，405nm VIS/NIR：550nm，625nm，780nm，940nm，1050nm SWIR/MWIR/LWIR:1.55um,2.0um,3.39um,10.6um
通光口径	130mm
光路中心高度	108mm
调试模式	实时相位及泽尼克系数显示
FOV调整范围	+/- 2°
尺寸和重量	910x600x260 mm3 , 25kg
隔震要求	无
重复性（RMS）	<0.7nm(<λ/900)
精度	80nmPV
动态范围(defocus)	500 fringes SFE=150um
反射率	~4% - 99%