紫外波前分析仪SID4-UV是Phasics针对半导体应用市场需求推出的一款高性价比的紫外波前分析仪，波长范围覆盖190nm~400nm，靶面尺寸为7.8X7.8mm2，提供300X300的采样率，同时能够提供26um的相位空间分辨率；该产品既能够满足深紫外激光器的高分辨率测量要求，也能够满足半导体的光学器件的品质管控测量和半导体晶圆面型的测量。

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