紫外单频半导体泵浦激光器-320nm&349nm-徕飞光电科技(深圳)有限公司

紫外单频半导体泵浦激光器-320nm&349nm

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更新时间：2025-06-25

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光源及激光器

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真空紫外光谱技术的关键挑战与解决方案

探秘可见近红外LED光源：从原理到性能突破

产品介绍

应用领域：

半导体检测；

碳化硅PL缺陷检测；

MicroLED巨量检测；

光学光栅母版；

流式细胞仪；

紫外拉曼光谱；

Skylark 320NX 系列激光器是Skylark公司推出的单频半导体泵浦激光器，该激光器输出可达200mW，而且具有极窄的线宽(<0.5MHz)，提供极高的光谱稳定性(<1pm@8h)和功率稳定性（<2%@8h），同时作为单频激光器，其光谱纯净，噪声也远低于目前市面上的紫外气体激光器，非常适用于紫外的拉曼检测、全息实验及光刻应用；

图2、349NX激光器得到的拉曼峰图

激光器种类	Skylark NX系列	HeCd	Ar离子激光器
功率	★★★★	★	★★
寿命	★★★★	★★	★★
体积	★	★★★★	★★
成本	★	★★★	★★★★★

表1、不同激光器对比表

紫外单频半导体泵浦激光器技术规格
型号	320NX	349NX
输出功率	200mW	400mW
波长	320nm	349nm
光谱带宽	≤0.5MHz	≤0.5MHz
空间模式	TEM00	TEM00
光谱稳定性	± 0.2 pm@8h	± 0.2 pm@8h
相干长度	>100m	>100m
输出功率稳定性	≤2%@8h	≤2%@8h
输出功率噪声	≤0.1% RMS	≤0.1% RMS
发散角	1.0mrad(衍射极限)	1.0mrad(衍射极限)
光斑尺寸	0.5~1mm	0.5~1mm
光束指向稳定性	≤5urad/℃	≤5urad/℃