徕飞光电科技

光电设备及集成方案供应商

服务热线:18026953515

产品中心

PRODUCTS CENTER

当前位置:首页产品中心波前分析设备波前分析仪紫外高分辨率波前传感器-SID4-UV-HR

紫外高分辨率波前传感器-SID4-UV-HR
产品简介:

产品型号:

更新时间:2024-11-23

厂商性质:生产厂家

访 问 量 :101

服务热线

18026953515

立即咨询
产品介绍

SID4-UV-HR是Phasics针对半导体应用市场需求推出的高性能的紫外波前分析仪,波长范围覆盖190nm~400nm,靶面尺寸为13.3X13.3mm2,提供512X512的采样率,同时能够提供26um的相位空间分辨率;该产品大的靶面设计及高达512X512的相位分辨率,满足了目前半导体紫外镜头的表征测试需求;

应用领域:193nm激光光束测量

半导体设备用镜头测量

半导体表面缺陷测量

 

SID4-UV-HR指标规格

波长范围

190nm~400nm

靶面尺寸

13.3X13.3mm2

相位空间分辨率

26um

相位谱&光强谱采样率

512X512

相位分辨率

<2nm   RMS

精度

20nm RMS

采样频率

15fps

实时相位输出频率

3fps(全分辨率)

通信接口

USB3.0

尺寸

80.3 x 78.6x 108.2mm3

重量

约600g

 


在线留言

ONLINE MESSAGE

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
  • 服务热线 18026953515
  • 电子邮箱

    sales@light-physics.com

扫码加微信

Copyright © 2025 徕飞光电科技(深圳)有限公司版权所有    备案号:粤ICP备2024310663号

技术支持:化工仪器网    sitemap.xml